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microfab 在表面微加工技術(shù)方面獲得了專業(yè)知識，專門用于聲學(xué) MEMS 設(shè)備的設(shè)計和串行制造，例如硅麥克風(fēng)和超聲換能器 (c-MUT)。德國microfab硅麥克風(fēng)
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